壓阻式SICK傳感器的結(jié)構(gòu)和效應(yīng)的資料有哪些？

SICK傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測量和控制當(dāng)力作用于硅晶體時(shí)，晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個(gè)能谷向另一個(gè)能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。 

SICK傳感器硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì)（見電阻應(yīng)變計(jì)），前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應(yīng)變），而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。 

SICK傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。圖2中是兩種微型壓力傳感器的膜片，圖中數(shù)字的單位為毫米。此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。  

SICK傳感器的種類繁多，其性能也有較大的差異，在實(shí)際生活中壓力傳感器應(yīng)用是廣泛的，根據(jù)具體的使用環(huán)境、條件和要求，選擇較為適用的經(jīng)濟(jì)、合理的壓力傳感器，可以起到事半功倍的效果。要了解不同領(lǐng)域壓力傳感器應(yīng)用的方向就必須先了解壓力傳感器的性能參數(shù)及其選擇原則。 

SICK傳感器(壓力傳感器原理)是傳感器中成熟傳感的技術(shù)，就市場銷售額看，居傳感器之首，且每年增長率達(dá)2%，具有廣闊的應(yīng)用前景.同技術(shù)性能的壓力傳感器應(yīng)用于不同不的測量需求己成為當(dāng)前壓力傳感器（壓力傳感器型號）發(fā)展和應(yīng)用的一個(gè)重要課題.隨著現(xiàn)代測量和自動(dòng)化技術(shù)的發(fā)展，市場上的壓力傳感器品種繁多，格及技術(shù)性能不一，格差別規(guī)價(jià)也很大.在使用者面前的問題是，