JGH寶帝兩位兩通電磁閥，423845

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其次是介質(zhì)溫度 (T1) 和流量 (Qnom ) 下在 MFMs/MFCs 前后測(cè)

得的壓力值（p1、p2）。 用所有這些參數(shù)計(jì)算出 MFM/MFC 的 kV 值

要求較大入口壓力 (p1max ) 。

設(shè)定值與過(guò)程值如何通訊？ 控制器是數(shù)字式的。但其接口可以配置

為模擬式或數(shù)字式。可選工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(hào)、RS-232 或 RS-485 數(shù)字通訊、

或現(xiàn)場(chǎng)總線 (Profibus、DeviceNet、CANopen、Modbus) 通訊。 

–  設(shè)置控制功能 – 選擇設(shè)定值和實(shí)際測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào) 

–  設(shè)置設(shè)定值曲線 –  對(duì)于標(biāo)定為兩種氣體的 MFM/MFC：選擇工作氣體 

–  設(shè)置二進(jìn)制輸入的功能： ·  切換氣體 ·  啟動(dòng)自動(dòng)優(yōu)化程序（Autotune） 

·  累加器復(fù)位或極限值開關(guān) ·  設(shè)置安全位置 ·  控制操作（設(shè)定值直接控制閥門） 

（參見比例電磁閥的技術(shù)資料）。對(duì)于 MFC 的控制 特性來(lái)講，計(jì)算出的 

MFM/MFC 的 kV 應(yīng)大于整個(gè)系統(tǒng)的 kV 值。但是，如果 kV 值太大，

則分辨 率及閥門的控制質(zhì)量會(huì)受影響。而如果 kV 值太小，則 MFC 

達(dá)不到所需的流量。MFC 的閥門權(quán) 限 （閥門權(quán)限：參見附錄）不應(yīng)小于 

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0.3 - 0.5。用較大流量 (Qnom ) 除以量程，

可計(jì)算出小流 量 (Qmin ) 。為了所有運(yùn)行狀態(tài)下的緊閉功能，

·  打開閥門，如用于吹洗過(guò)程 ·  其它 – 設(shè)置二進(jìn)制輸出的功能： ·  故障信號(hào) 

· 控制輸出，如用于關(guān)斷閥 · 極限值反饋（流量、累加器） 

MFMs/MFCs 可以標(biāo)定為氣體或氣體混合物。如果是氣體混合物，

則其準(zhǔn)確的組分（以百分 比表示）對(duì)于標(biāo)定非常重要。對(duì)于帶式傳

感器或 CMOS 傳感器的 MFMs/MFCs，測(cè)量氣體或 氣體混合

物時(shí)都需要采用工作氣體進(jìn)行標(biāo)定（真實(shí)氣體標(biāo)定）。而對(duì)于帶毛細(xì)管

傳感器的 MFMs/ MFCs，則可以采用一種中性氣體進(jìn)行標(biāo)定，

因?yàn)槠淞髁颗c測(cè)量信號(hào)之間存性關(guān)系。實(shí)際使 用時(shí)可采用各

工作氣體或氣體混合物的轉(zhuǎn)換因子對(duì)流量值進(jìn)行修正。必須確保 MFMs/MFCs 

各組 件的材質(zhì)兼容性。氣體的相對(duì)濕度可接近100 %，

但在任何情況下都應(yīng)避免出現(xiàn)液態(tài)。應(yīng)采用預(yù) 置過(guò)濾器氣體中的顆粒物。 

已知哪些過(guò)程參數(shù)？ 為了選擇適用的 MFM/MFC，必須要知

道一些應(yīng)用參數(shù)。是較大流量 (Qnom )、介質(zhì)的標(biāo) 準(zhǔn)密度 ρN。

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