松下晶圓定位傳感器樣本，F(xiàn)X-301

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3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) 

可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3) 

檢測(cè)角度 12.5±5°(注4) 

晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5) 

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開(kāi)放式晶圓盒 

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下 

消耗電流 65mA以下 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開(kāi)關(guān)選擇

<NPN輸出>裝備(自動(dòng)復(fù)位) 

耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí) 

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 

投光元件 LED(調(diào)制式) 

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起) 

穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈) 

定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開(kāi)延遲定時(shí)器　有效/無(wú)效切換式 

NPN開(kāi)路集電極晶體管?較大流入電流：100mA 

外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí))

0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))

PNP輸出>

PNP開(kāi)路集電極晶體管

較大源電流：100mA

外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí))

材質(zhì)  外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯 

電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長(zhǎng)300mm 

反應(yīng)時(shí)間 500μs以下 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃ 

使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH 

使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下 

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間 

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 

松下晶圓定位傳感器樣本，F(xiàn)X-301